글로버메뉴 바로가기 본문 바로가기 하단메뉴 바로가기

논문검색은 역시 페이퍼서치

> 한국공업화학회 > 응용화학 > 7권 1호

NAC-5 Sensitizer로서의 정량적 감광특성 연구

A Study on the Quantitative Photosensitive Characteristics of NAC-5(Naphthoquinone-1,2-diazide-5-sulfonyl chloride) as a Sensitizer

윤세훈 ( Sei Hun Yun ) , 오성상 ( Sung Sang Oh ) , 이의수 ( Euy Soo Lee )

- 발행기관 : 한국공업화학회

- 발행년도 : 2003

- 간행물 : 응용화학, 7권 1호

- 페이지 : pp.33-36 ( 총 4 페이지 )


학술발표대회집, 워크숍 자료집 중 1,2 페이지 논문은 ‘요약’만 제공되는 경우가 있으니,

구매 전에 간행물명, 페이지 수 확인 부탁 드립니다.

1,000
논문제목
초록(외국어)
NAC-5(Naphthoquinone-1,2-diazide sulfonyl chloride), as an additive,was applied to enhance the photosensitive rate in composing a positive type of photoresist with naphthoquinone diazide derivative. Quantitative unit of energy absorotion of NAC-5 based on molar weight using 365 nm optical pattern generator was measured to estimate the availability as a role of photoinitiator or an improvement agent for photochemical reaction. Comparing with the ester compound of NAC-5 with THBP(trihydroxybenzophenone) the rate of energy absorption of NAC-5 in the given range of UV light exposure was greater then that of THBP-ester of naphthoquinone diazide. Conclusively, NAC-5 was regarded as superior in photosensitivity.

논문정보
  • - 주제 : 공학분야 > 화학공학
  • - 발행기관 : 한국공업화학회
  • - 간행물 : 응용화학, 7권 1호
  • - 발행년도 : 2003
  • - 페이지 : pp.33-36 ( 총 4 페이지 )
  • - UCI(KEPA) : I410-ECN-0102-2009-570-003883239
저널정보
  • - 주제 : 공학분야 > 화학공학
  • - 성격 : 학술지
  • - 간기 : 반년간
  • - 국내 등재 : -
  • - 해외 등재 : -
  • - ISSN : 1226-8801
  • - 수록범위 : 1997–2013
  • - 수록 논문수 : 2399