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> 한국접착및계면학회 > 접착 및 계면 > 19권 4호

나노리소그라피 기술을 이용한 초소수성 불소 실란 분자의 나노패턴 제조

Fabrication of Superhydrophobic molecules Nanoarray by Dip-pen Nanolithography

연경흠 ( Kyung-heum Yeon ) , 강필선 ( Pil-seon Kang ) , 김경민 ( Kyung-min Kim ) , 임정혁 ( Jun-hyurk Lim )

- 발행기관 : 한국접착및계면학회

- 발행년도 : 2018

- 간행물 : 접착 및 계면, 19권 4호

- 페이지 : pp.163-166 ( 총 4 페이지 )


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논문제목
초록(한국어)
이 딥펜 나노리소그라피(DPN)는 원자 힘 현미경(AFM)을 기반으로 하는 나노 및 마이크로패턴 제조 기술이다. 다양한 잉크 물질을 AFM 탐침에 코팅하여 탐침과 기판 사이에 형성된 물 메니스커스를 통해 기판으로 전이시켜 패턴을 제조한다. 본 연구에서는, 실란 전처리된 AFM 탐침 표면에불소 실란 잉크 용액을 코팅하고 하이드록시기로 개질된 실리콘 기판 위에 접촉시킨 후, DPN 기술을이용하여 표면으로 잉크 물질을 전이시키는 연구를 진행하였다. HDFDTMS 잉크 물질의 dot 어레이패턴을 안정적으로 제조하였으며, AFM 탐침과 기판 사이의 접촉시간에 따라 패턴 크기가 선형적으로증가하는 전형적인 DPN의 확산 메커니즘을 보였다.
초록(외국어)
Dip-pen nanolithography(DPN) is an atomic force microscope (AFM) based method of generating nano- or micro-patterns. This technique has been used to transfer various ink materials on the substrate through water meniscus formed between AFM tip and the substrate surface. In this study, the heptadecafluoro-1,1,2,2-tetrahydrodecyltrimethoxysilane (HDFDTMS) ink materials were coated on the pre-coated AFM tip surface with the HDFDTMS molecules. When the tip brought into contact with the hydroxyl-functionalized silicon surface, HDFDTMS ink molecules have been successfully transported from the tip onto the surface via water meniscus. The created array and passivation area showed stable structures on the surface, and the transport of ink materials from the AFM tip to the surface followed linear increase in pattern size with contact time.

논문정보
  • - 주제 : 공학분야 > 화학공학
  • - 발행기관 : 한국접착및계면학회
  • - 간행물 : 접착 및 계면, 19권 4호
  • - 발행년도 : 2018
  • - 페이지 : pp.163-166 ( 총 4 페이지 )
  • - UCI(KEPA) : I410-ECN-0102-2019-500-001447738
저널정보
  • - 주제 : 공학분야 > 화학공학
  • - 성격 : 학술지
  • - 간기 : 계간
  • - 국내 등재 : KCI 등재
  • - 해외 등재 : -
  • - ISSN : 1229-9243
  • - 수록범위 : 2000–2021
  • - 수록 논문수 : 534