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> 한국경영공학회 > 한국경영공학회지 > 25권 2호

MES 기반 MCRS 자동처리를 위한 TMAP 구현 - A사(社) 반도체 Etch 공정 중심으로 -

A Study on the Implementation of TMAP for MCRS Automatic Processing System Based on MES - Focusing on Semiconductor Etch Process -

임철 ( Cheol Im ) , 구성태 ( Sung Tae Ku )

- 발행기관 : 한국경영공학회

- 발행년도 : 2020

- 간행물 : 한국경영공학회지, 25권 2호

- 페이지 : pp.187-205 ( 총 19 페이지 )


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초록(외국어)
Purpose The purpose of this paper is to implement an automated system that automatically handles MCRS problems in semiconductor lines. Methods Standardized and structured the way manual handling of MCRS problems caused by equipment problems. Therefore, MES-based automatic TMAP system, which is an automatic processing method that can be systematically processed, was implemented and applied. Results As a result, in the process of processing MCRS by applying TMAP, the intervention of workers and engineers was minimized, and the working time was reduced by about 23.1%. Conclusion However, the task of confirming the defect image of TMAP judgment is still being performed manually, and further research is needed using new IT technology.

논문정보
  • - 주제 : 사회과학분야 > 경영학
  • - 발행기관 : 한국경영공학회
  • - 간행물 : 한국경영공학회지, 25권 2호
  • - 발행년도 : 2020
  • - 페이지 : pp.187-205 ( 총 19 페이지 )
  • - UCI(KEPA) : I410-ECN-0102-2021-300-001122322
저널정보
  • - 주제 : 사회과학분야 > 경영학
  • - 성격 : 학술지
  • - 간기 : 계간
  • - 국내 등재 : KCI 등재
  • - 해외 등재 : -
  • - ISSN : 2005-7776
  • - 수록범위 : 2011–2021
  • - 수록 논문수 : 436